金融界2024年6月7日消息，天眼查知识产权信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“用于晶圆清洗装置的输液结构及晶圆清洗装置“，公开号CN9.6，申请日期为2024年3月。

　　专利摘要显示，本申请实施例提供了一种用于晶圆清洗装置的输液结构及晶圆清洗装置，输液结构包括固定套筒、转轴和第一套管，固定套筒的内部具有装配腔，固定套筒的侧壁的内壁面设有输液管，固定套筒的侧壁开设有输液孔，输液孔与输液管连通；转轴具有沿着其轴线贯通的输液通道，输液管的至少部分由输液装配端伸入输液通道内，且输液管的外周面与输液通道的内壁之间具有第一间隙，输液装配端的内壁开设有至少一个第一凹槽；第一套管的一端朝向输液管与固定套筒的内壁连接处，且为喇叭形开口。根据本申请 利澳账号注册实施例提供输液结构及晶圆清洗装置，能够有效的减少DIW由输液管输入转轴的输液通道时，回流的量并能够防止DIW废液重新进入输液通道内。华海清科申请输液结构及晶圆清洗装置专利能够有效地减少DIW由输液管输入转轴的输液通道时回流的量并能够防止DIW废液重新进入输液通道内！